11月20日，據(jù)中導(dǎo)光電官微消息，中導(dǎo)光電近日成功獲得國內(nèi)功率半導(dǎo)體頭部客戶的8英寸碳化硅（SiC）晶圓缺陷檢測設(shè)備訂單。
source：中導(dǎo)光電
據(jù)悉，中導(dǎo)光電NanoPro-1XX設(shè)備可以為碳化硅芯片制備產(chǎn)線提供全工藝過程缺陷檢測。
據(jù)介紹，相較于6英寸碳化硅晶圓，8英寸碳化硅晶圓的尺寸增大，對制造和檢測過程中的精度與工藝要求更高。中導(dǎo)光電投入大量資源研發(fā)，力求在晶圓表面納米級缺陷檢測方面達到更高的精確度和更復(fù)雜的工藝水平。
官網(wǎng)資料顯示，中導(dǎo)光電創(chuàng)立于2006年11月，是一家國內(nèi)平板顯示面板和半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備專業(yè)企業(yè)，其集成電路檢測設(shè)備產(chǎn)品覆蓋“無圖形”和“有圖形”晶圓檢測應(yīng)用領(lǐng)域，檢測靈敏度達納米級，已成功進入客戶產(chǎn)線。
在碳化硅設(shè)備領(lǐng)域，11月18日，廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（下文簡稱：廣州粵升）宣布，其已在今年9月實現(xiàn)碳化硅外延設(shè)備的大批量出貨。
廣州粵升表示，此批設(shè)備在第一代外延爐基礎(chǔ)上做了進一步優(yōu)化設(shè)計，具備生產(chǎn)高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的外延片生產(chǎn)能力。（集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理）
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