11月18日，廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（下文簡稱“廣州粵升”）宣布，公司已在今年9月實(shí)現(xiàn)碳化硅（SiC）外延設(shè)備的大批量出貨。
source：廣州粵升
廣州粵升表示，此批設(shè)備在第一代外延爐基礎(chǔ)上做了進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計(jì)，具備生產(chǎn)高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的外延片生產(chǎn)能力。
資料顯示，廣州粵升成立于2021年，專注于碳化硅外延設(shè)備、碳化硅晶體生長設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)。
2022年6月，廣州粵升與廣州海創(chuàng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院合作，成立SiC外延設(shè)備研發(fā)中心；11月，首臺SiC外延設(shè)備研發(fā)成功；2023年2月，廣州粵升開始液相法SiC單晶設(shè)備的研發(fā)；9月，該公司SiC外延設(shè)備產(chǎn)品裝車交付；11月，液相法SiC單晶設(shè)備批量交付；2024年9月，實(shí)現(xiàn)SiC外延設(shè)備的大批量出貨。
廣州粵升指出，公司自主研發(fā)的SiC外延設(shè)備，已在客戶端連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行近兩年，能夠滿足厚膜以及3C晶型的外延要求。
值得一提的是，廣州粵升的母公司東莞市中科匯珠半導(dǎo)體，旗下產(chǎn)品包含:傳統(tǒng)4H-n型SiC襯底的外延片、基于液相法4H-p型SiC和3C-SiC襯底的外延片，目前產(chǎn)品已取得國內(nèi)頭部SiC器件企業(yè)的多輪流片驗(yàn)證，具備規(guī)模量產(chǎn)能力。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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