4月17日，半導(dǎo)體離子注入廠商Axcelis宣布向全球領(lǐng)先的碳化硅（SiC）功率器件芯片制造商交付多批Purion Power系統(tǒng)離子注入器系統(tǒng)。這些設(shè)備包括Purion H200 SiC大電流、Purion XE SiC高能和Purion M SiC中電流注入機(jī)，且均在第一季度發(fā)貨。這些6英寸（150mm）和8英寸（200mm）設(shè)備將用于支持汽車、工業(yè)、能源和其他電力密集型應(yīng)用的功率器件的大批量生產(chǎn)。
source：Axcelis
Axcelis總裁兼首席執(zhí)行官Russell Low評(píng)論道：“我們將不斷獲取新客戶，并擴(kuò)大我們?cè)谌颥F(xiàn)有客戶的足跡。Purion Power 系列因其高度差異化的特性和工藝控制能力成為功率器件應(yīng)用的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者。Axcelis是唯一一家能夠?yàn)樗泄β势骷?yīng)用提供完整配方覆蓋的離子注入公司。”
值得一提的是，算上本次，在一個(gè)月不到的時(shí)間里，Axcelis已完成三起SiC設(shè)備訂單的出貨，客戶包括中國(guó)、日本等地的功率器件制造商。
得益于技術(shù)優(yōu)勢(shì)，SiC設(shè)備拉動(dòng)Axcelis營(yíng)收。2023年，SiC設(shè)備業(yè)務(wù)營(yíng)收占Axcelis總營(yíng)收的34%，成為其業(yè)績(jī)重要組成部分和增長(zhǎng)動(dòng)力。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）
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