9月26日,瑤光半導體公司(下文簡稱“瑤光半導體”)公眾號發(fā)文稱,公司自研的首批SiC激光退火設備ES500-2量產下線,并舉行了交付儀式。
SiC激光退火設備ES500-2采用正向研發(fā)的思路,自主研發(fā)集成系統(tǒng)和光路設計,創(chuàng)新性使用六西格瑪穩(wěn)健性開發(fā)、可靠性設計,結合自研生產核心零部件,實現(xiàn)了長期、安全、穩(wěn)定、可靠運行,滿足客戶的使用要求。
瑤光半導體(浙江)有限公司成立于2023年4月28日,從事于半導體器件專用設備制造和銷售。
該企業(yè)4月份簽約落地到如今的產品交付,其速度令人咂舌。
圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫
據(jù)悉,瑤光是浙江工業(yè)大學莫干山研究院今年引進的重點項目,主要從事第三代寬禁帶半導體制程設備的研發(fā)、生產和銷售,目前公司已完成瑤光閉環(huán)溫度控制系統(tǒng),并擁有瑤光功率芯片背面激光退火方法,自主創(chuàng)新瑤光SiC外延生長方案,惰性氣體屏障技術等多項專有技術。
官微稱,瑤光半導體在研設備“星型SiC MOCVD”(ES600),將持續(xù)加大自主研發(fā)力度,進一步提供核心部件國產化解決方案。ES600計劃于今年四季度完成研發(fā),這將有望填補國內該市場領域的空白。
全球范圍內,激光退火機市場主要集中在亞太地區(qū),其中又以中國、日本、韓國等國家為主要參與者。
激光退火機市場集中度較高,高端市場幾乎被國外企業(yè)壟斷,其中三井集團、日本住友重工、YAC BEAM、日本日立、應用材料等企業(yè)市場占有率較高。
瑤光半導體現(xiàn)自研并產出交付SiC激光退火設備,這對打破該設備由外國市場壟斷的現(xiàn)狀有著積極意義。(文:集邦化合物半導體Morty整理)
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