天岳先進(jìn)發(fā)布12英寸碳化硅襯底

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 11 月 14 日 10:40 | 分類 企業(yè)

11月14日,天岳先進(jìn)官微披露,2024德國慕尼黑半導(dǎo)體展覽會(huì)(Semicon Europe 2024)于11月12日正式開幕,天岳先進(jìn)攜全系列碳化硅(SiC)襯底產(chǎn)品亮相,并于11月13日發(fā)布了12英寸(300mm)N型碳化硅襯底產(chǎn)品,標(biāo)志著碳化硅產(chǎn)業(yè)正式邁入超大尺寸碳化硅襯底時(shí)代。

12英寸碳化硅襯底

source:天岳先進(jìn)

據(jù)介紹,12英寸碳化硅襯底材料,能夠進(jìn)一步擴(kuò)大單片晶圓上可用于芯片制造的面積,大幅提升合格芯片產(chǎn)量。在同等生產(chǎn)條件下,顯著提升產(chǎn)量,降低單位成本,進(jìn)一步提升經(jīng)濟(jì)效益,為碳化硅材料的更大規(guī)模應(yīng)用提供可能。

另據(jù)天岳先進(jìn)官微消息,天岳先進(jìn)近日向客戶成功交付高質(zhì)量低阻P型碳化硅襯底。天岳先進(jìn)表示,高質(zhì)量低阻P型碳化硅襯底將加速高性能SiC-IGBT的發(fā)展進(jìn)程,實(shí)現(xiàn)高端特高壓功率器件國產(chǎn)化。

據(jù)介紹,針對(duì)高壓大功率電力電子器件用P型碳化硅單晶襯底存在的成本高、電阻率高、缺陷控制難度大等技術(shù)難題,天岳先進(jìn)布局液相法技術(shù),在2023年發(fā)布了8英寸碳化硅晶體,并于2024年推出了采用液相法制備的4度偏角P型碳化硅襯底。

據(jù)悉,液相法具有生長(zhǎng)高品質(zhì)晶體的優(yōu)勢(shì),在長(zhǎng)晶原理上決定了可以生長(zhǎng)超高品質(zhì)的碳化硅晶體。天岳先進(jìn)目前在液相法領(lǐng)域獲得了低貫穿位錯(cuò)和零層錯(cuò)的碳化硅晶體。其通過液相法制備的P型4度偏角碳化硅襯底,電阻率小于200mΩ·cm,面內(nèi)電阻率分布均勻,結(jié)晶性良好。(來源:天岳先進(jìn),集邦化合物半導(dǎo)體整理)

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