近日，Veeco宣布歐司朗光電半導體認證通過了其Lumina MOCVD系統，并將采用此系統生產高端LED產品，助力下一代先進光子器件的開發(fā)。
歐司朗光電半導體的首席運營官Lothar Mergili稱，歐司朗的發(fā)展核心就是在需要創(chuàng)新和重新定義技術限制的的下一代先進光子技術領域保持領先地位。
Mergili指出，事實證明Lumina MOCVD系統在生產率方面設定了新的標準，可滿足甚至超過市場要求。Veeco的先進MOCVD技術對于歐司朗而言，發(fā)揮著重要作用，未來也是如此。
圖片來源：Veeco
Veeco介紹，新型Lumina系統是基于20多年的大容量MOCVD專業(yè)技術開發(fā)的，并擁有公司核心TurboDisc技術的可靠性能。為了開發(fā)下一代器件，歐司朗等領先企業(yè)追求高品質薄膜技術，出色的一致性和可重復性，以及無可比擬的購置成本，而這些Lumina都能夠滿足。
Lumina系統的核心就是Veeco的MOCVD TurboDisc技術，該技術專用于實現高一致性和缺陷最少化，能夠在直徑達8英寸的晶圓上沉積高質量的AsP外延層。
此外，Lumina系統還可用于定制用戶的系統，以在量產IRED（紅外發(fā)光二極管）、LED、EEL（邊發(fā)射激光器）和VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）等產品的過程中實現價值最大化。（LEDinside Janice編譯）
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